參數規格：

OD5-25T01

光源：紅色激光，1級（Ⅱ)（ 波長650nm，最大輸出390μW）

測量范圍：20±1mm

分辨率：0.02μm

重復精度：0.06μm

線性度：± 1.6μm 

OD5-25W01

光源：紅色激光，1級（Ⅱ)（ 波長650nm，最大輸出390μW）

測量范圍：20±1mm

分辨率：0.02μm

重復精度：0.06μm

線性度：± 1.6μm

OD5-30T05

光源：紅色激光，2級（Ⅱ)(波長650nm,最大輸出1mW)

測量范圍：30 ± 5 mm

分辨率：0.2μm

重復精度：0.6μm

線性度：± 10μm

OD5-30W05

光源：紅色激光，2級（Ⅱ)(波長650nm,最大輸出1mW)

測量范圍：30 ± 5 mm

分辨率：0.2μm

重復精度：0.6μm

線性度：± 8μm

OD5-85T20

光源：紅色激光，2級（Ⅱ)(波長650nm,最大輸出1mW)

測量范圍：85 ± 20 mm

分辨率：1μm

重復精度：3μm

線性度：± 20μm

OD5-85W20

光源：紅色激光，2級（Ⅱ)(波長650nm,最大輸出1mW)

測量范圍：85 ± 20 mm

分辨率：1μm

重復精度：3μm

線性度：± 20μm

OD5-350W100

光源：紅色激光，2級（Ⅱ)(波長650nm,最大輸出1mW)

測量范圍：350 ± 100 mm

分辨率：5μm

重復精度：15μm

線性度：±160μm

OD5-350W200

光源：紅色激光，2級（Ⅱ)(波長650nm,最大輸出1mW)

測量范圍：500 ± 200 mm

分辨率：10μm

重復精度：30μm

線性度：±400μm