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一.SJ6000激光干涉儀功能

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有極高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。
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二.SJ6000激光干涉儀性能特點

1.測量精度高、速度快，穩定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。

三.SJ6000激光干涉儀內置標準
標準號標準名稱
ISO230-2 老版國際標準
ISO230-1997 新版國際標準
ANSI B5.54 美國國家標準
ASME B89.1.12M 美國機械工程師協會標準
NMTBA 美國機床協會標準
BS 3800 英國機床標準
BS 4656 英國三測機標準
JIS B6330 日本國家標準
GB 17421-2000 中國國家標準
VDI 3441 德國機床標準

四.SJ6000激光干涉儀技術參數

系統性能

? 測量方式：單頻

? 穩頻精度：0.05ppm

? 動態采集頻率：50 kHz

? 預熱時間：5-10分鐘

? 工作溫度范圍：0~38℃

? 環境溫度范圍：0~38℃，環境濕度：0~95%

? 存儲溫度范圍：-20℃~70℃

環境補償示值誤差

? 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

? 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

? 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

? 大氣壓力傳感器：±0.1kPa

線性測量

? 測量距離：0-40m

? 測量精度：0.5ppm (0-38℃)

? 測量分辨率：1nm

? 測量最大速度：3m/sec

角度測量

? 軸向量程：0-15m

? 測量范圍：±10°

? 測量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m）

? 測量分辨率：0.1″

平面度測量

? 軸向量程：0-15 m

? 測量范圍：±1.5 mm

? 測量精度：±（0.6%R+0.02 M²）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m）

? 基板尺寸：50mm、100mm、150mm

測量分辨率：0.1μm

直線度測量

? 軸向量程：0.1-4.0 m

? 測量范圍：±3.5 mm

? 測量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M²）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m）

? 測量分辨率：0.01μm

垂直度測量

? 軸向量程：0.1-3.0 m

測量范圍：±3.5mm

? 測量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m）

? 測量分辨率：0.01μm/m

回轉軸分度精度測量

? 角度測量范圍：0-360°

? 精密轉臺角度增量：5°

? 精密轉臺分度精度：±1″

? 精密轉臺重復性：0.2″

五.SJ6000激光干涉儀應用范圍

1.激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具。檢定時可按照規定標準處理測量數據并打印出誤差曲線，為機床的修正提供可靠依據。

2.激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差，在現場使用尤為方便。

3.激光干涉儀可方便地安裝在測長機上，取代原測長機的坐標系統，作為一般計量室中的長度基準。

4.激光干涉儀又是一種高精度的位移傳感器，可直接安裝于坐標鏜、螺絲磨等精密機床及坐標測量機上作為坐標系統，使定位精度大為提高。

5.激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，儀器可按預定的間距自動完成檢測和刻劃工作。

6.激光干涉儀與圓分度器結合使用是一套高精度長度—角度比相計，可作為機床傳動鏈，絲桿螺旋線等誤差的測量系統。

品牌：	中圖儀器
所在地：	廣東深圳市
起訂：	≥1 臺
供貨總量：	100 臺
有效期至：	長期有效
穩頻精度：	0.05ppm
線性精度：	0.5ppm
線性范圍：	40m

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