國內硅烷氣項目建設有了新進展。“我們和高校合作研發的年產3000噸硅烷氣項目二期工程已于6月25日試車投產，目前運行平穩且達產達標，產品純度99.999999%，主要經濟指標接近或達到國外同類產品指標要求。”7月13日，中國平煤神馬集團河南硅烷科技發展股份有限公司發布了這一信息。

該項目的建成達產標志著平煤神馬集團高純度硅烷大規模生產技術獲得突破，結束了國內高純度硅烷產品全部依靠進口的歷史，該公司也成為全國唯一一家擁有完全自主知識產權成套工業化硅烷生產技術的企業。

“我們采用硅烷法實現高純度硅烷氣的工業化生產，解決了國外鎂硅法、氟硅法等傳統硅烷氣技術難以大規模生產以及成本高、排放大等難題，生產成本較國際同類產品低30%以上。”硅烷科技公司董事長蔡前進介紹說。

該項目的落地單位、許昌首山化工科技有限公司董事長楊紅深表示，年產3000噸硅烷氣項目二期工程項目總投資10億元，項目全部達產后，平煤神馬高純度硅烷年產能達到3600噸，國內市場占有率可達40%左右。

該項目技術由上海交通大學化學化工學院長江學者肖文德教授領銜研發。2009年，肖文德教授以多功能反應器為基礎，開創性地提出了基于三氯氫硅的硅烷生產技術。該技術使原本轉化率為0.1%的反應可以實現接近100%的轉化率，并在實驗室獲得了99.99%的硅烷產品。2010年12月，平煤神馬與上海交通大學簽訂戰略合作協議，共同開發硅烷法多晶硅技術，并在2012年5月組建河南硅烷科技發展股份有限公司，依托許昌首山焦化煤焦循環經濟鏈條研發高純度硅烷產品。

2014年10月，一期工程年產600噸硅烷氣的生產線成功投產，硅烷氣純度達8N級，平煤神馬在國內率先擁有成套工業化硅烷生產技術，也成為全球第五家擁有獨立知識產權的硅烷生產企業。隨后，二期工程年產3000噸硅烷氣項目于2016年7月開工建設。

“下一步，我們還將投資50億元，建設三期工程——年產1.5萬噸高純硅烷氣、1500噸電子級多晶硅和1000噸區熔級多晶硅項目，力爭到2020年產值規模達到100億元、利稅總額20億元，成為該領域具有國際影響力的科技創新企業。”楊紅深說。

據了解，我國電子和大規模集成電路行業的芯片進口總額去年高達2300億美元。其中一個重要原因是缺乏高純度晶體硅材料，而生產高純晶體硅必須以高純硅烷為基礎。硅烷既可用于制造大規模集成電路芯片，又可用于生產多晶硅，經濟效益很高。